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碳氢清洗剂的蒸馏再生，就是利用清洗剂与污垢之间的沸点差，将溶有油污的清洗剂加热沸点以上而控制在油污的沸点以下，使碳氢气化，然后通过冷凝装置使之重新凝结成纯净的碳氢清洗剂，从而实现了持续的溶剂循环再生。